Pháp hành cốt tủy để thành tựu các quả vị Thánh là tu tập Giới-Định-Tuệ. Tu tập Giới tức giữ Giới và Luật, thực hành các phương thức phòng hộ, trợ duyên cho thiền định. Tu tập Định (hay thiền Chỉ) là an trú vào các đề mục để thanh lọc và tịnh hóa tâm. Định tâm tăng tiến theo các cấp độ từ Sơ thiền, Nhị thiền, Tam thiền cho đến Tứ thiền.

Sơ thiền là trạng thái hỷ lạc nhờ sự xả ly (Ly sanh hỷ lạc), hành giả vượt qua rào cản của năm triền cái (Trạo cử, Hôn trầm, Dục, Sân và Nghi).

Tăng cường định lực, hợp nhất chủ thể và đối tượng tư duy (tuy chưa thuần), hỷ lạc sung mãn hơn, hành giả bước vào Nhị thiền (Định sanh hỷ lạc).

Buông xả các cảm thọ lạc do định sanh, an trụ trong tĩnh lặng, hành giả bước vào Tam thiền (Ly hỷ diệu lạc).

Tứ thiền là trạng thái tâm hành giả trở nên bất động, buông xả tuyệt đối, nhất như (Xả niệm thanh tịnh).

Tu tập Tuệ (thiền Quán) là thực hành Bát chánh đạo và Tứ niệm xứ để bước vào bốn quả Thánh. Theo kinh Sư tử hống (Trung A-hàm, 24), từ Tứ thiền, hành giả chuyên tâm tu tập thiền quán Vô thường, Vô ngã, đoạn trừ mười kiết sử (Thân kiến, Nghi, Giới cấm thủ, Dục, Sân [hạ phần], Hữu ái, Vô hữu ái, Mạn, Trạo cử và Vô minh [thượng phần]) để lần lượt chứng đắc bốn quả Thánh.

Sơ quả Tu-đà-hoàn, còn gọi Nhập lưu hay Thất lai. Hành giả phát huy tuệ giác thiền quán quét sạch ba kiết sử Thân kiến, Nghi và Giới cấm thủ. Bậc Sơ quả biết rõ thân và tâm vô thường; dứt trừ hoài nghi về Tam bảo, hiểu rõ Phật, Pháp, Tăng; tin tưởng tuyệt đối vào nhân quả, trì giới, bố thí, tham thiền, không còn mê tín. Bậc Sơ quả còn bảy lần tái sanh nữa để tiếp tục tu tập chứng đạt quả tối thượng.

Nhị quả Tư-đà-hàm, còn gọi Nhất lai, là quả vị đã đoạn trừ ba kiết sử đầu và làm suy yếu hai kiết sử kế tiếp là Dục và Sân. Bậc Nhị quả còn một lần tái sanh nữa để tiếp tục tu tập chứng đạt quả tối thượng.

Tam quả A-na-hàm, còn gọi Bất lai, là quả vị đã đoạn trừ năm hạ phần kiết sử (Thân kiến, Nghi, Giới cấm thủ, Dục và Sân). Bậc Tam quả không bị tái sanh vào cõi Dục, thường sanh vào cõi Sắc hoặc Vô sắc, từ đó tu hành và chứng đạt quả tối thượng.

Tứ quả A-la-hán, quả vị đã đoạn trừ hoàn toàn mười kiết sử, gồm năm hạ phần kiết sử nói trên và năm thượng phần kiết sử (Hữu ái, Vô hữu ái, Mạn, Trạo cử và Vô minh). Hữu ái tức luyến ái sự hiện hữu, trú vào cõi Sắc. Vô hữu ái tức ưa thích sự không hiện hữu, trú vào cõi Vô sắc. Mạn là tâm kiêu mạn, chấp thấy có sự chứng đắc. Trạo cử, sự dấy động của tâm, kể cả sự thao thức về chứng ngộ. Vô minh là si mê, mê mờ vì các kiết sử ngăn che. Quả vị A-la-hán còn gọi là Vô sanh, không còn tái sanh, chấm dứt sinh tử luân hồi, chứng đắc giải thoát Niết-bàn.

Ngoài ra, còn một con đường khác hướng đến Niết-bàn bằng cách từ Tứ thiền, hành giả tiếp tục đi sâu vào Định, nhập vào cõi Vô sắc của Tứ không định. Từ định Vô sở hữu xứ tu tập Tứ vô lượng tâm (Từ, Bi, Hỷ, Xả), nhập Diệt thọ tưởng định trước khi vào Niết-bàn tối hậu.