Theo đó, Quy mô lập quy hoạch diện tích khoảng 45,30 ha, gồm: toàn bộ diện tích khoanh vùng bảo vệ (khu vực I và II) của di tích, là 13,65 ha và phần diện tích nghiên cứu, quy hoạch mở rộng, bổ sung vào khu vực bảo vệ di tích (gồm: cảnh quan thiên nhiên, không gian sinh hoạt văn hóa của cộng đồng dân cư bao quanh di tích; khu vực tổ chức hệ thống giao thông kết nối; xây dựng hệ thống hạ tầng kỹ thuật, các công trình phụ trợ; các khu chức năng), khoảng 31,65 ha, nhằm đáp ứng yêu cầu bảo vệ và phát huy giá trị di tích; Diện tích khảo sát lập bản đồ địa hình tỷ lệ 1/500 phục vụ lập đồ án quy hoạch là 54,40 ha.

Đối tượng nghiên cứu lập quy hoạch gồm: Các giá trị di sản văn hóa, tài sản, hiện vật gắn với di tích và công tác quản lý bảo tồn, phát huy giá trị di tích gắn với phát triển du lịch; cảnh quan núi non, thảm thực vật, động vật, các giá trị cảnh quan, sinh học, thủy văn... trong khu vực di tích; các yếu tố kinh tế - xã hội, dân cư, môi trường khu vực, các thể chế chính sách có liên quan; hiện trạng hạ tầng kỹ thuật, thực trạng đầu tư xây dựng, tình hình sử dụng đất tại khu vực lập quy hoạch; tổng thể hệ thống di tích và khu vực xung quanh di tích...

Mục tiêu lập quy hoạch nhằm cụ thể hóa các nội dung của Chiến lược phát triển văn hóa Việt Nam giai đoạn 2021 - 2030 và các chiến lược, quy hoạch phát triển ngành, lĩnh vực liên quan đảm bảo phù hợp với việc bảo quản, tu bổ và phục hồi di tích.

Bảo tồn, gìn giữ lâu dài các giá trị hiện hữu của chùa Tây Phương cùng các di sản văn hóa liên quan; góp phần phục hồi các di sản văn hóa đã bị mai một hoặc bị hủy hoại; bảo đảm duy trì sự toàn vẹn của các di tích; tôn vinh các giá trị di tích; nâng cao ý thức, trách nhiệm của cộng đồng trong việc bảo vệ, phát huy giá trị di sản văn hóa.

Đồng thời, phát huy giá trị, vai trò của di sản văn hóa liên quan trong thu hút du khách, tổ chức và góp phần tạo môi trường thuận lợi để tổ chức các hoạt động tín ngưỡng, tôn giáo và lễ hội truyền thống một cách an toàn, hiệu quả; phát triển du lịch bền vững, tạo thêm nguồn thu nhập, tạo cơ hội kinh doanh và việc làm cho cộng đồng dân cư địa phương, góp phần nâng cao đời sống nhân dân.

Qua đó xác định lại ranh giới, khoanh vùng bảo vệ di tích; chức năng, chỉ tiêu sử dụng đất cho khu vực di tích, khu vực dân cư và khu vực bảo vệ môi trường; quy hoạch tổ chức không gian, bố trí hệ thống hạ tầng kỹ thuật phù hợp với các giai đoạn bảo tồn, phát huy giá trị di tích...

Theo quy hoạch, khu di tích có tính chất là di tích lịch sử kiến trúc nghệ thuật cấp quốc gia đặc biệt, nơi lưu giữ các bảo vật quốc gia; nằm trong khu vực tập trung nhiều di tích lịch sử - văn hóa, danh lam thắng cảnh, làng nghề truyền thống, các di vật, cổ vật, bảo vật quốc gia... phản ánh tính liên tục xuyên suốt của văn hóa truyền thống và lịch sử dân tộc. Là trung tâm sinh hoạt văn hóa, tín ngưỡng; nơi tổ chức các lễ hội truyền thống của đông đảo người dân huyện Thạch Thất và vùng lân cận; điểm du lịch hấp dẫn của Thành phố Hà Nội, vùng đồng bằng sông Hồng và cả nước.