Theo tài liệu ghi chép, thiền phái Tì-ni-đa-lưu-chi tại Việt Nam do thiền sư Tì-ni-đa-lưu-chi sáng lập tại Việt Nam. Thiền sư Tì-ni-đa-lưu-chi là người Nam Thiên Trúc (Ấn Độ), thuộc dòng dõi Bà-la-môn.

Thiền sư sang Việt Nam khoảng cuối thế kỉ thứ 6 (khoảng năm 580), cư trú tại chùa Pháp Vân (tức chùa Dâu, Bắc Ninh ngày nay). Nơi đây Sư dịch bộ kinh Đại thừa phương quảng tổng trì sau khi đã dịch xong bộ kinh Tượng đầu tinh xá tại Trung Quốc.

Trước khi tịch, Sư gọi đệ tử là Pháp Hiền đến và phó chúc: "Tâm ấn của chư Phật không có lừa dối, tròn như thái hư, không thiếu không dư, không đi không lại, không được không mất, chẳng một chẳng khác, chẳng thường chẳng đoạn, vốn không có chỗ sinh, cũng không có chỗ diệt, cũng chẳng xa lìa và cũng chẳng phải chẳng xa lìa. Vì đối với vọng duyên mà giả lập tên ấy thôi... Tổ Tăng Xán khi Ấn khả chứng minh tâm này cho ta bảo ta mau về phương Nam giáo hóa. Đã trải qua nhiều nơi nay đến đây gặp ngươi quả là phù hợp với lời huyền ký. Vậy ngươi khéo giữ gìn, giờ đi của ta đã đến."

Thiền sư Pháp Hiền là người kế thừa thiền phái Tì-ni-đa-lưu-chi từ thiền sư Tì-ni-đa-lưu-chi. Theo Thiền Trúc Lâm, Thiền sư Pháp Hiền (? - 626) (Đời thứ 1, dòng Tỳ-ni-đa-lưu-chi).

Đại sư Tỳ Ni Đa Lưu Chi và Ni sư Diệu Nhân

Sư họ Đỗ quê ở Chu Diên (Sơn Tây), thân hình to lớn cao đến bảy thước ba tấc (2m30). Khi mới xuất gia, Sư theo Đại sư Quán Duyên ở chùa Pháp Vân thọ giới. Đến lúc Tổ Tỳ-ni-đa-lưu-chi sang Việt Nam vào chùa Pháp Vân gặp Sư, Tổ nhìn kỹ vào mặt hỏi:

- Ngươi họ gì?

Sư đáp:

- Hòa thượng họ gì?

- Ngươi không có họ sao?

- Họ thì chẳng không, Hòa thượng làm sao biết được?

- Biết để làm gì?

Sư bỗng nhiên tự tỉnh, liền sụp xuống lạy. Tổ Tỳ-ni-đa-lưu-chi ấn chứng, từ đây về sau Sư luôn luôn theo hầu Tổ.

Sau khi Tổ tịch, Sư vào núi Từ Sơn tu thiền định, thân như cây gỗ, vật ngã đều quên. Các loài cầm thú thường quấn quít chung quanh Sư. Người đời thấy thế càng thêm kính mộ, đệ tử tìm đến học đạo càng ngày càng đông. Nhân đó, Sư mới lập chùa nhận đồ đệ ở tu, số học chúng hằng ngày trên ba trăm vị. Thiền tông phương Nam từ đây được thạnh hành.

Thích sử Lưu Phương nghe danh của Sư, bèn dâng sớ về Trung Quốc tâu lên vua nhà Tùy:

“... Cõi này người khâm sùng Phật giáo, lại có những vị cao đức danh tăng...”

Vua Tùy sai sứ mang năm hòm xá-lợi Phật và tờ điệp, bảo Sư xây tháp cúng dường. Sư bèn xây tháp ở chùa Pháp Vân và các chùa danh tiếng ở các châu Phong, Hoan, Trường, Ái... cũng đều dựng tháp cúng dường.

Về sau, Sư trụ trì tại chùa Chúng Thiện, núi Thiên Phước huyện Tiên Du.

Niên hiệu Võ Đức năm thứ chín đời Đường (626), Sư an tường thị tịch. Thiền sư Thanh Biện là người kế thừa dòng thiền của Sư.