Theo Bách khoa thư Baidu, ma (魔) là ký tự lần đầu được nhìn thấy trong Thuyết văn giải tự của Hứa Thận, ra đời cùng với bản dịch kinh điển Phật giáo vào thời Nam - Bắc triều. Ma là từ viết tắt của chữ mara (मार) trong Phạn ngữ, còn mara có nghĩa là giết, sát sinh và chướng ngại - một thuật ngữ xuất hiện trong Đại trí độ luận do Bồ tát Long Thụ soạn, ngài Cưu ma la thập dịch vào đời Hậu Tần.

Trong Phật giáo, ma là sự cản trở việc tu hành (Tây du ký, tập 12), về sau ma mở rộng nghĩa thành "ác quỷ, quái vật" (Giáng ma của Tống Lục Du); "người xấu hoặc thế lực xấu xa" (Ngụy thư. Nguyên Dao truyện). Ma còn dùng để chỉ ma thuật hoặc người bị ám ảnh điều gì đó (Dữ Nguyên Cửu thư của Bạch Cư Dị) hay là sự mê đắm (Cao tử di thư. Hội ngữ thập bát), sự điên loạn, phi lý (Cố sự tân biên. Chú kiếm)...

Ngày nay, ma giáo có nghĩa là gian xảo, bịp bợm song ngày xưa lại là "tôn giáo làm say mê lòng người mà hại người". Trong Từ điển tiếng Việt do Hoàng Phê chủ biên (1988), ma xó là ma thờ ở xó nhà, cái gì cũng biết; ma gà là con ma nhập vào người sống, gây bệnh tật, tai họa cho người. Những kẻ bần tiện, đáng khinh bị gọi là ma bùn; mặt mũi khó coi gọi là ma mút; bẩn thỉu, xấu xí là con ma lem rồi nào là ma cô, ma cà bông, ma lanh, ma mãnh hoặc ma men, ma mị, ma trơi, ma tà… Đấy là chưa kể những từ cổ như ma pháp (phép ma quái); nhập ma (sự mê đắm, mất hết lý trí); bệnh ma (loài ma quỷ hại người) hay ma đạo (con đường gian tà, hại người). Ngoài ra còn những từ đồng âm khác nghĩa với ma như hồ ma, ma đậu, ma hoàng, lúa ma…

Quỷ (鬼) là ký tự xuất hiện lần đầu trên các bản khắc Giáp cốt văn thời nhà Thương (Từ nguyên, Thiên Tân cổ tịch xuất bản xã, 2013). Ký tự cổ xưa này giống như con quái vật có thân người và cái đầu to; nghĩa gốc là linh hồn của người chết trở về hoặc hồn phách đã tách rời của con người (Cửu Ca. Quốc thương của Khuất Nguyên).

Từ quỷ có nhiều nghĩa: là "ác quỷ, bóng ma" (Lễ Ký. Tế nghĩa); "linh hồn của vạn vật" (Thi Kinh. Tiểu Nhã. Hà nhân tư); "tổ tiên" (Luận Ngữ. Vi chính); "biệt danh, chủ yếu là trẻ con" (Ngũ nguyệt Đoan dương của Lý Quý); "thủ đoạn bẩn" (Thiếu niên tâm của Hoàng Đình Kiên); "sự thông minh, tinh tế" (Tam thiên lý giang sơn của Dương Sóc); "ám chỉ cái chết, biến thành quỷ" (Dung Trai ngũ bút của Hồng Mại); "niềm tin mê tín vào quỷ thần" (Dật chu thư. Mệnh huấn).

Trong các văn bản cổ, ta có thể bắt gặp những từ quỷ với nghĩa hoàn toàn khác (cách viết chữ Hán khác), chẳng hạn như quỷ (佹: kỳ quái); quỷ (垝: hư hỏng, đổ nát); quỷ (庪: chôn giấu); quỷ (姽: vẻ đẹp thùy mị của đàn bà); quỷ (庋: chạn để thức ăn, giá chứa đồ); quỷ (蛫: loài cua 6 chân); quỷ (觤: sừng của loài thú mọc không đều, dài ngắn hoặc cao thấp)… - Từ điển Hán Nôm, thivien.net.

Từ "quỷ" hiện nay thường dùng để chỉ những thứ tà ác và đáng sợ, phần lớn đều liên quan đến sự mê tín, ma quỷ và thần thánh.

 Nguồn Báo Thanh Niên